Pode ser usado para aquecer e vaporizar halogenetos metálicos, compostos orgânicos metálicos,Hidrocarbonetos e outras fontes de reação sob pressão específica para gerar sedimentos sólidos na superfície do material alvoTambém é utilizado para deposição química de vapor de materiais compostos com gás hidrocarboneto (como C3H8, etc.) como fonte de carbono, tais como materiais compostos C/C, compostos SiC
materiais, CVD, processamento CVI.