Forno de deposição a vácuo para dispositivos de grafite e semicondutores

O forno de deposição de vácuo é usado para a preparação de materiais compostos de carbono-carbono,e o forno de deposição é usado principalmente para a preparação de revestimento de carbono pirolítico na superfície de grafiteDispositivos semicondutores e materiais de limpeza resistentes ao calor.

Área de aplicação:

Grafite, dispositivos semicondutores, materiais resistentes ao calor.

1Parâmetros Básicos:

1) Temperatura de projecto: 1250°C/1650°C/1800°C/2200°C

2) Temperatura comum: 900-1200°C

3) Grau de vácuo: < 50 Pa

4) Pressure rise rate: 6.67pA/h (ou 150Pa/24h) em estado frio de forno vazio

5) Modo de aquecimento: aquecimento por resistência ao grafite ou aquecimento por indução, controlo de temperatura independente, boa uniformidade de temperatura

6) Ambiente: vácuo /CH4/C3H6/H2/N2/Ar

7) Modo de controle de gás: controle de medidor de fluxo de massa, caminho de gás multi-canal, campo de fluxo uniforme, não ângulo morto de deposição, bom efeito de deposição;

Sistema de tratamento de exaustão multi-estágio e eficiente, ecologicamente amigável, fácil de limpar;

8) Tipo de forno: estrutura quadrada, redonda, vertical ou horizontal (construção não-padrão), câmara de deposição totalmente fechada, bom efeito de vedação, forte capacidade anti-poluição;

9) Modo de refrigeração do forno: refrigeração por água da casca do forno, sistema de refrigeração rápida de circulação externa pode ser selecionado, curto tempo de refrigeração, alta eficiência de produção;

2Estrutura do forno de deposição a vácuo:

Forma de estrutura: horizontal - descarga lateral, vertical - descarga para cima/para baixo

Modo de bloqueio da porta do forno: manual/automático

Material da casca do forno: aço inoxidável interno/todo aço inoxidável

Material de isolamento: feltro de carbono/filtro de grafite/filtro curado de fibra de carbono

Aquecedor, material do muffle: grafite/CFC

Instrumentos infravermelhos: colorimétrico único/colorimétrico duplo

Fornecimento de energia: KGPS/IGBT ((only suitable for medium frequency heating))

Produzir especificação: